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IVG系列-全/半自動單/雙軸減薄機

簡要描述:半自動單軸減薄機是一款操作簡單、功能豐富、性價比高的高精度研削設備,采用手動裝片方式,配置自動厚度測量和補償系統,可自動研削至目標值。工作臺可根據客戶需求進行定制化,應用廣泛。
全自動減薄機是配有全自動上、下片系統的高精度研削設備,采用晶圓機械手取片,帶有自動對中、清洗、干燥功能,可實現盒到盒、干進干出的全自動減薄拋光研削加工。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-06-06
  • 訪  問  量: 692

詳細介紹

1 產品概述:

半自動雙軸減薄機是一款高精度研削設備,它安裝了兩個砂輪軸,以提供更為靈活和高效的研削能力。該設備通過手動裝片方式操作,并配備了自動厚度測量和補償系統,確保研削過程中的精度和一致性。半自動雙軸減薄機的工作臺可根據客戶需求進行定制化設計,以滿足不同尺寸和材料的加工需求。

 

2 設備用途:

半自動雙軸減薄機主要用于半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域。其主要用途包括:

  1. 半導體制造:在半導體晶圓的制造過程中,對晶圓進行精確減薄,以滿足后續工藝對晶圓厚度的嚴格要求。

  2. 硅片加工:對硅片進行高精度研削,調整硅片厚度,提高硅片的質量和加工效率。

  3. 光學材料處理:在光學元件的制備過程中,對光學材料進行精確減薄,以滿足光學元件對材料厚度和表面粗糙度的特殊要求。

  4. 薄膜材料制備:在薄膜材料的制備過程中,半自動雙軸減薄機可用于對薄膜進行精確控制厚度的研削加工。

3. 設備特點

半自動雙軸減薄機具有以下幾個顯著特點:

  1. 高精度:采用先進的研削技術和精密的控制系統,確保研削過程的高精度和一致性。厚度在線測量重復精度可達±0.001 mm,滿足高精度加工需求。

  2. 雙軸研削單元:配備兩個砂輪軸,能夠同時進行粗磨和精磨操作,提高加工效率,并減少工件在不同工序間的轉移時間。

  3. 自動厚度測量和補償系統:實時測量工件厚度,并根據測量結果自動調整研削量,確保研削后的工件厚度達到預定目標值。

  4. 定制化工作臺:工作臺可根據客戶需求進行定制化設計,以適應不同尺寸和材料的加工需求,提高設備的靈活性和適用性。

綜上所述,半自動雙軸減薄機以其高精度、雙軸研削單元、自動厚度測量和補償系統、定制化工作臺、操作靈活以及良好的兼容性等特點,在半導體制造、硅片加工、光學材料處理及薄膜材料制備等領域發揮著重要作用。

4  設備參數:

項目

IVG-2020

IVG-3020

大晶圓尺寸

8 英寸

12 英寸

砂輪規格

?203(OD)mm

?303(OD)mm

砂輪軸功率

6.0kW

9.5kW

砂輪軸轉速范圍

0~6000 RPM

0~4000 RPM

工作臺轉速

0~380 RPM

0~380 RPM

Z軸進給速度

0.1~1000 um /sec

0.1~1000 um /sec

厚度在線測量范圍(OMM

0-4800um

0-4800um

厚度在線測量重復精度

±0.001 mm

±0.001 mm

NCG非接觸實時測厚系統

可選配

可選配





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