一、產品概述：

Canon FPA3000 EX4 是一款高性能的步進式光刻機，專為半導體制造業設計，適用于生產高精度的集成電路。該設備以其良好的成像能力和高生產效率而聞名。

二、設備用途/原理：

Canon FPA3000 EX4 步進式光刻機主要用于半導體制造、微機電系統和光電器件的生產。其工作原理包括使用高強度光源照射涂有光刻膠的硅晶圓，通過光學系統將掩模上的圖案投影到晶圓表面，形成圖案后進行顯影，去除未曝光或已曝光的光刻膠。隨后，圖案被轉移到晶圓材料上，通過刻蝕工藝完成最終圖形的制作，最后去除殘留光刻膠。該設備以其高分辨率和高效的曝光能力，確保了在優良制造領域的應用。

三、特色參數：

四、設備特點

1.高分辨率成像

支持高達 300mm 的晶圓尺寸，能夠實現精確的圖案轉移，滿足優良半導體制程的需求。

2.快速掃描速度

采用高效的掃描技術，顯著縮短生產周期，提高生產效率，適合大批量制造。

3.優良的光學系統

配備高性能光學元件，確保在復雜圖形上的成像質量和清晰度。

4.用戶友好的操作界面

設計簡潔、直觀，結合自動化功能，降低操作難度，提升用戶體驗。

5.高可靠性與穩定性

設備經過精心設計，適合長時間連續運行，降低維護需求和成本。

6.靈活的應用能力

能夠適應多種制造需求，包括集成電路、MEMS 和光電器件等。

7.環境適應性強

設計考慮到不同的生產環境，確保在各種條件下均能穩定運行。