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濺射系統

簡要描述:iTops PVD AlN 濺射系統,采用托盤形式,可兼容 2/4/6 英寸,工藝溫度在 0~700℃之間。

  • 產品型號:iTops PVD AlN
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2025-06-05
  • 訪  問  量: 1122

詳細介紹

1. 產品概述

iTops PVD AlN 濺射系統,采用托盤形式,可兼容 2/4/6 英寸。

2. 設備用途/原理

iTops PVD AlN 濺射系統,采用托盤形式,可兼容 2/4/6 英寸,工藝溫度在 0~700℃之間。占地面積小,結構簡單,操作靈活,維修方便設備穩定,運營成本低

3. 設備特點

晶圓尺寸  2/4/6 英寸兼容。適用材料氮化鋁。適用工藝氮化鋁緩沖層濺射。適用域化合物半導體。百科:?半導體濺射系統的原理主要是利用高能離子撞擊靶材,使靶材的原子或分子從表面逸出,并沉積在半導體基片上,形成一層薄膜。濺射技術可以分為多種類型,包括直流濺射、交流濺射、反應濺射和磁控濺射等,不同類型的濺射技術適用于不同的應用場景。例如,直流濺射適用于導電材料的鍍膜,而交流濺射則適用于導電性較差的材料。反應濺射可以在濺射過程中引入反應氣體,以形成特定的化合物薄膜。磁控濺射則通過加入磁場來控制電子的運動路徑,提高濺射效率和薄膜質量。

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